固有頻率（Natural Frequency）：
平臺(tái)振動(dòng)的周期或頻率與初始( 或外界) 條件無關(guān)，而只與系統(tǒng)的固有特性有關(guān)，稱為光學(xué)平臺(tái)的固有頻率或者固有周期。通常來說，固有頻率越低，系統(tǒng)的隔振性能就越強(qiáng)。
外界振動(dòng)同物體的固有頻率相同時(shí)，通常會(huì)引起共振，往往不是好事，甚至?xí)a(chǎn)生嚴(yán)重后果，比如：正常人體的固有頻率為7.5Hz 左右，其中各部分又有自己的固有頻率，如內(nèi)臟為4 ～ 6Hz，頭部為8 ～ 12Hz 等，正是由于這個(gè)原因，次聲波（10-5 ～ 20Hz）對(duì)人體有很大的破壞。
固有頻率還分為水平方向和豎直方向，但通常來說豎直方向的固有頻率對(duì)整體隔振性能的影響，起到?jīng)Q定性作用，水平方向的固有頻率指標(biāo)通常用于參考。

振動(dòng)恢復(fù)時(shí)間（Damping Settling Time）:
也叫衰減周期，是指：某一點(diǎn)上開始振動(dòng)到恢復(fù)到初始狀態(tài)所需要的最短時(shí)間。若把光學(xué)平臺(tái)簡(jiǎn)化為彈簧振子，由彈簧振子的回復(fù)力表達(dá)式：計(jì)算可知
● 增大彈簧的彈性系數(shù)k。對(duì)于阻尼隔振平臺(tái)，可以換用材質(zhì)較硬的阻尼材料；對(duì)于充氣平臺(tái)，可以適度增加空氣壓力
● 控制光學(xué)平臺(tái)臺(tái)面的質(zhì)量。在不影響剛度的前提下，臺(tái)面質(zhì)量越輕，振動(dòng)恢復(fù)時(shí)間越短，使用效果就越好。卓立的光學(xué)平臺(tái)，采用優(yōu)質(zhì)鐵磁不銹鋼，上臺(tái)面鋼板厚度為4～6mm，在確保系統(tǒng)剛性的前提下，整體重量適中，可充分發(fā)揮出平臺(tái)優(yōu)秀的隔振性能

平面度（Surface Flatness）：
光學(xué)平臺(tái)的平面度，通常是指單位面積內(nèi)，被測(cè)實(shí)際表面相對(duì)其理想平面的變動(dòng)量。通常國(guó)外光學(xué)平臺(tái)的平面度指標(biāo)為：±0.1mm/600mm×600mm，中航世紀(jì)的光學(xué)平臺(tái)，通過精密磨削工藝，將平面度指標(biāo)提高到0.02 ～ 0.05mm/600mm×600mm。
但嚴(yán)格意義上來說，光學(xué)平臺(tái)平面度，對(duì)于隔振性能，沒有任何影響，甚至若為了追求高平面度，往往會(huì)犧牲掉光學(xué)平臺(tái)的隔振性能，原因如下：
● 我們知道，光學(xué)平臺(tái)臺(tái)面，若為達(dá)到高平面度，通常需要反復(fù)磨削，在加工過程中，多次磨削容易使材料產(chǎn)生形變，為了減少形變，通常要加厚臺(tái)面，但我們通過振動(dòng)恢復(fù)時(shí)間的說明已經(jīng)知道，臺(tái)面加厚質(zhì)量增加，平臺(tái)的振動(dòng)恢復(fù)時(shí)間往往成倍（甚至幾倍）增加，在很多精密光學(xué)實(shí)驗(yàn)中，這是不可接受的；
● 光學(xué)平臺(tái)的磨削是有極限的，這個(gè)加工的極限一般是在±0.01mm/600mm×600mm左右，換算成平方米大約為：±0.03mm/m2，但這個(gè)平面度，同大理石平臺(tái)的平面度相差甚遠(yuǎn)。大理石平臺(tái)根據(jù)平面度指標(biāo)一般分為：000級(jí)（平面度≤3μm/m2）、00級(jí)（平面度≤5μm/m2）、0級(jí)（平面度≤10μm/m2）。換句話說，平面度最好的光學(xué)平臺(tái)，同最低等級(jí)的大理石平臺(tái)相比，平面度還差數(shù)倍甚至一個(gè)數(shù)量級(jí)，所以若您需要高平面度的臺(tái)面，強(qiáng)烈建議您選購(gòu)大理石平臺(tái)；
● 光學(xué)平臺(tái)的平面度在使用時(shí)，實(shí)際意義不大。我們以絕對(duì)平整的臺(tái)面（實(shí)際上是不可能的）來看，若長(zhǎng)×寬×厚為：2000×1000×200mm，通常調(diào)整水平時(shí)，水平儀的最小刻度為±30′，若假設(shè)實(shí)際過程中，水平方向調(diào)整精度若為5′，長(zhǎng)度方向取2000mm，那么，臺(tái)面長(zhǎng)度方向兩端的高度差=2000×tan（5′）2.9mm，也就是說，就算絕對(duì)平整的臺(tái)面，調(diào)整水平后，臺(tái)面長(zhǎng)度方向兩端的高度差很有可能達(dá)到3mm，所以實(shí)際使用情況中，平面度的指標(biāo)意義不大；
● 對(duì)于平臺(tái)上的光學(xué)元件來說，平面度引起的高度差，通常可以忽略不計(jì)，若確有必要考慮高度差，則完全可以通過卓立精密調(diào)整的位移臺(tái)來實(shí)現(xiàn)。綜上所述，光學(xué)平臺(tái)的平面度，同光學(xué)平臺(tái)的隔振性能不相關(guān)，只能做為光學(xué)平臺(tái)的一個(gè)輔助指標(biāo)，供參考。

振幅（Amplitude）：
振動(dòng)物體離開平衡位置的最大距離叫振動(dòng)的振幅。
振幅在數(shù)值上等于最大位移的大小。對(duì)于光學(xué)平臺(tái)系統(tǒng)，臺(tái)面受外力作用時(shí)，離開平衡位置的最大距離，同光學(xué)平臺(tái)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)、受力大小、受力的位置、瞬時(shí)加速度、速度、持續(xù)時(shí)間、臺(tái)面的剛性、隔振系統(tǒng)的阻尼比等諸多因素有著非常復(fù)雜的非線性函數(shù)關(guān)系，如果標(biāo)稱振幅的具體指標(biāo)，需要注明上述特定的實(shí)驗(yàn)條件，否則振幅的指標(biāo)，變得沒有意義。對(duì)于阻尼隔振的光學(xué)平臺(tái)，振幅通常在微米量級(jí)，而氣浮式隔振平臺(tái)，振幅通常為毫米量級(jí)甚至是厘米量級(jí)。中航世紀(jì)及國(guó)外廠商的光學(xué)平臺(tái)并未標(biāo)稱光學(xué)平臺(tái)振幅的指標(biāo)。

表面粗糙度（Surface Roughness）：
有部分廠家，在光學(xué)平臺(tái)的指標(biāo)中，標(biāo)稱表面粗糙度的概念，往往存在一些誤導(dǎo)。國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB/T3505-2000 中規(guī)定了評(píng)定表面粗糙度的各種參數(shù)，其中常用的是輪廓算術(shù)平均偏差Ra。輪廓算術(shù)平均偏差Ra 是指在取樣長(zhǎng)度內(nèi)，沿測(cè)量方向(z 方向) 的輪廓線上的點(diǎn)與基準(zhǔn)線之間距離絕對(duì)值的算術(shù)平均值。
若只標(biāo)稱Ra 的數(shù)值，但并未公布取樣長(zhǎng)度，這樣的數(shù)值標(biāo)稱變得毫無意義，而且有誤導(dǎo)消費(fèi)者的可能。比如說，標(biāo)稱表面粗糙度為：0.5 ～ 0.8μm，但若取樣長(zhǎng)度分別為10mm、1mm 和0.1mm，實(shí)際上表面粗糙度的差別可達(dá)百倍！根據(jù)GB1031 的推薦值：取樣長(zhǎng)度若取0.25mm 時(shí)，精密及超精密加工表面的表面粗糙度Ra ＞ 0.02 ～ 0.1μm ；當(dāng)取樣長(zhǎng)度取0.8mm 時(shí)，普通精加工表面Ra ＞ 0.1 ～ 2μm。
根據(jù)上述說明，取樣長(zhǎng)度為0.8mm，表面粗糙度為0.5 ～ 0.8μm 時(shí)，表面加工精度屬于一般水平。卓立的光學(xué)平臺(tái)，表面粗糙度實(shí)測(cè)指標(biāo)均符合GB1031 中推薦標(biāo)準(zhǔn)。
另外，表面粗糙度通常是評(píng)定（小型）零件表面質(zhì)量的指標(biāo)，屬于微觀幾何形狀誤差。加工表面的粗糙度是加工過程中多種因素( 機(jī)床刀具工件系統(tǒng)、加工方法、切削用量、冷卻潤(rùn)滑液) 共同作用的結(jié)果。這些因素的作用過程相當(dāng)復(fù)雜，而且是不斷變化的。
所以用不同加工方法或在同樣加工方法、同樣加工條件下加工出來的同一批零件，不同表面不同部位其粗糙度值也不完全相同。而且同上面介紹的平面度概念一樣，它同光學(xué)平臺(tái)的隔振效果沒有關(guān)系，中航世紀(jì)及國(guó)外廠商的光學(xué)平臺(tái)并未標(biāo)稱表面粗糙度的指標(biāo)。

撓度（Flexibility)：
撓度是指結(jié)構(gòu)構(gòu)件的軸線或中面由于彎曲引起垂直于軸線或中面方向的線位移。對(duì)于細(xì)長(zhǎng)物體或薄物體，撓度是在受力后彎曲變形程度的度量。細(xì)長(zhǎng)物體（如梁或柱）的撓度是指在變形時(shí)其軸線上各點(diǎn)在該點(diǎn)處軸線法平面內(nèi)的位移量。薄板或薄殼的撓度是
指中面上各點(diǎn)在該點(diǎn)處中面法線上的位移量。通俗地講，撓度就是構(gòu)件的豎向變形。
撓度系數(shù)同剛性系數(shù)、抗拉強(qiáng)度、楊氏彈性模量等類似，是標(biāo)稱材料特性的一個(gè)常數(shù)，對(duì)于光學(xué)平臺(tái)而言，其它因素相同只有厚度不同的情況下，鋼板越厚，撓度越小。

最大相對(duì)位移（Maximum Relative Motion Value）：
光學(xué)平臺(tái)中提到的最大相對(duì)位移有別于精密位移臺(tái)中的相關(guān)概念，通常光學(xué)平臺(tái)的最大相對(duì)位移指標(biāo)，是指在特定的測(cè)試條件和環(huán)境中，臺(tái)面本身的變形量。比如在一個(gè)隔離了外界振動(dòng)的環(huán)境中，放置負(fù)載和空載情況下，通過平面度檢測(cè)儀測(cè)量臺(tái)面的變形。臺(tái)面的尺寸，通常取300mm×300mm，負(fù)載安置在此面積的中心位置，負(fù)載也有一定的要求（比如取114 公斤）。
光學(xué)平臺(tái)的最大相對(duì)位移值，主要同平臺(tái)的結(jié)構(gòu)和材料剛性相關(guān)，在同樣測(cè)試條件，且光學(xué)平臺(tái)的結(jié)構(gòu)和材料相近的情況下，最大相對(duì)位移的值相差不大。中航世紀(jì)的光學(xué)平臺(tái)臺(tái)面，采用三層夾心結(jié)構(gòu)，上臺(tái)面厚度4 ～ 6mm，采用鐵磁不銹鋼材質(zhì)，此時(shí)測(cè)試的最大相對(duì)位移，在10-7mm 量級(jí)，同國(guó)外同類產(chǎn)品指標(biāo)相近。

重復(fù)定位精度（Repeatability）：
光學(xué)平臺(tái)中的重復(fù)定位精度同精密位移臺(tái)中概念不同，光學(xué)平臺(tái)的重復(fù)定位精度，是指在空載和在一定條件下加上負(fù)載并去除負(fù)載，光學(xué)平臺(tái)最終穩(wěn)定后的高度差。這個(gè)指標(biāo)同負(fù)載的大小、加載的位置、加載時(shí)的速度、加速度、卸載時(shí)的速度、加速度等等指標(biāo)有很大的關(guān)系，對(duì)于充氣式平臺(tái)，還有一個(gè)重要前提，就是加載前后，氣囊中空氣的壓力、溫度和質(zhì)量不發(fā)生變化。武漢中航世紀(jì)隔振設(shè)備有限公司的光學(xué)平臺(tái)，在上述各種條件符合特定要求時(shí)，測(cè)試出阻尼式平臺(tái)的重復(fù)定位精度，為微米量級(jí)，而氣浮式平臺(tái)的重復(fù)定位精度一般為亞毫米量級(jí)。